山东高纯氨气厂家直供–批发价格

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高纯氨应用原理是什么？

【1】  Ga(CH₃)₃+ NH₃ → GaN + 4CH₄；

这个反应是制造发光二极管（LED）外延芯片的氮化镓的基 础，反应在昂贵的 MOCVD （有机金属气相沉积）设备上完成。山东青岛。

【2】  3SiH₄ + 4NH₃→ Si₃N₄ + 12H₂；

这个反应是制造氮化硅（Si₃N₄ ）的基础，由硅烷（SiH₄ ）和高纯氨在较高温度下，在化学气相沉积（CVD）设备中进行反应，此反应也需要相当数量的高纯氨气。山东青岛。

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