高纯氧气标准是什么
高纯氧气标准是什么？
高纯氧技术标准
| 项目 | 指标 | 优等品 | 一等品 | 合格品 |
| 氧纯度，10-2 | ≥ | 99.999 | 99.998 | 99.995 |
| 氩含量，10-6 | ≤ | 2 | 5 | 10 |
| 氮含量，10-6 | ≤ | 5 | 10 | 20 |
| 二氧化碳含量，10-6 | ≤ | 0.5 | 1 | 1 |
| 总烃含量（以甲烷计），10-6 | ≤ | 0.5 | 1 | 2 |
| 水分含量，露点℃10-6 | ≤ | -72 | -70 | -69 |
| 2 | 2.5 | 3 |
高纯氧主要用于标准混合气的制备、科学研究、集成电路和半导体器件的生产，也适用于对氧气纯度较高的气体领域。
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