高纯电子气体

电子气体主要分为氢化物（超纯氢、硅烷、磷烷等），氟化物（六氟化硫、三氟化氮、四氟化硅等），碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙烷等）。目前，我国电子气体品种基本齐全，但数量和质量与发达国家相比，尚有较大差距。

随着半导体和微电子工业的迅猛发展，对电子气体的品种、数量、质量及纯度提出了更高的要求。随着近年来国防工业、科学研究、自动化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展，特种气体行业新兴起来。特种气体是工业气体中的一个新兴门类，从应用领域划分，主要有电子气体、高纯气体、标准气体三大类。

高纯电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，被业内称为电子工业的“血液”和“粮食”。

电子气体多以集中式供应为趋势，特种气体集中放置在气体房。输送系统的数量是根据机台对流量的需求进行合理配置。特气输送设备必须采用全自动切换供气，而且多设计了备用设备。对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计。

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