半导体用高纯氧
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使用半导体用高纯氧的注意事项
使用高纯氧气时应注意安全,做好防震、防火、防热、防油等工作。高纯氧气能助燃,应放在阴凉处,严禁接近烟火和易燃物;不可在氧气表螺旋口上抹油;高纯氧气钢瓶压力很高,搬运时避免倾倒、撞击,以防止爆炸。
开启瓶阀或减压器时动作要缓慢,以防喷出高速气流中的静电火花放电、固体微粒的碰撞热和降擦热、气体受突然压缩时放出的热量(绝热压缩)等引起氧气瓶和减压器爆炸着火。
另外,氧气瓶应远离高温、明火和熔融金属飞溅物〔相距10米(m)以上〕。夏季使用时不得在烈日下曝晒。
半导体用高纯氧各个成分指标
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