高纯空气用途
工业上,把常温常压下呈气态的产品统称为工业气体产品。气体产品种类繁多,大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类。常见高纯气体的用途高纯氧:高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积;作为氧化源与产生高纯水的反应剂;
高纯氦:用作氦气球、氦气飞艇的填充气体,以取代其有高度可燃性的氢气,与高纯二氧化碳和高纯氮气一起用作二氧化碳激光切割机的激光气体,液氦用于核磁共振成像仪的超导磁体,跟医用氧气一起用于深海作业的呼吸气体,用作空调领域氦漏仪的检漏气体,跟高纯氩气一起用作特殊焊接的保护气体,用作气相色谱仪/气质联用仪等仪器的载气
高纯氩:高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩也可作为色谱载气。氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管;焊接保护气;在钛、钴和其他活性金属的生产中用作屏蔽气;在黑色冶金中用于吹炼特种钢。 在金属冶炼方面,氧、氩吹炼是生产优质钢的重要措施,每炼1t钢的氩气消耗量为1~3m3。此外,对钛、锆、锗等特殊金属的冶炼,以及电子工业中也需要用氩作保护气。
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